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含氟廢氣的凈化含氟煙氣具有煙氣量大、氟濃度低、成分復雜、含塵量高的特點。含氟氣體粉塵的處理方法主要有兩種：濕法和干法。
1.濕法除氟：液體吸收劑用于吸收煙氣中的氟化氫和四氟化硅，分離出的含氟溶液經處理制得氟化物，可循環使用。氟化物水溶性強，吸收快，效果好。國內濕法除氟工藝首先采用除塵，然后通過吸收塔、脫水塔和脫泡塔進入熱風爐，從煙囪排出。凈化率可達90%以上，如多級吸收后可達95%。含氟廢水用鈣鹽處理，澄清后的溶液可循環使用，氟化物可通過沉淀回收。濕法除氟設備復雜、昂貴、腐蝕嚴重且有二次污染，國外已逐漸被干法替代。
2.干法除氟：干法凈化技術已在國外鋁工業中廣泛應用。美國，日本，等。鋼鐵磷肥工業用氧化鈣干法除氟。干法脫氟凈化工藝簡單，具有煙氣處理量大、脫氟效率高(一般在98%以上)、無含氟廢水排放、無二次污染和設備腐蝕等特點。以及低資本和運營成本。凈化器應選擇凈化性能好、價格低、易于購買的產品。
含氟廢水的處理主要有三種類型。
1.氟化鈣沉淀法：鈣鹽沉淀法廣泛用于除氟。在含氟廢水中加入鈣鹽，產生不溶性氟化鈣沉淀。該方法適用于高氟廢水的處理，處理后的氟含量可降至12 ~ 13毫克/升。此外，氟化鈣沉淀可重復使用。
2.混凝沉淀法：該方法不需要特殊設備，成本低，但占地面積大，難以連續操作和實現自動化。明礬在實際應用中經常被用來去除飲用水中的氟，但是明礬的用量很大;聚丙烯酰胺是一種理想的混凝劑，能加快沉降速度，明顯提高固液分離效果，且污泥量少，但混凝劑價格較高。
3.活性鋁土礦吸附法：活性鋁土礦吸附能力強，經處理后可降低氟含量。
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