常見的有機廢氣處理工藝包括生物洗滌吸附、光催化氧化、催化燃燒、熱焚燒、活性炭/棉吸附、等離子體、冷凝回收等。但需要根據實際情況比較選擇合適有效的處理工藝。

　　一、催化燃燒過程：催化燃燒是利用貴金屬催化劑降低廢氣中有機物的活化能，使有機物在較低溫度下(一般在250-300左右，有機物不同組分的催化燃燒溫度不同)無焰燃燒。原理是廢氣通過催化劑時，先吸附在催化劑表面，然后在一定溫度下發生催化燃燒，達到凈化的目的。目前有機廢氣處理中常用的催化劑有蜂窩狀鈀金屬催化劑和鉑金屬催化劑。催化燃燒的方法包括氣體加熱和電加熱。燃燒類型包括再生催化燃燒(RCO)和直接催化燃燒(CO)。催化燃燒一般適用于風量小、溫度高、濃度高的氣態有機物，廢氣中不能含有鉛、鹵素、硫、汞等對催化劑有毒害作用的因素。

　　二、廢氣處理工藝要素的比較與選擇：一般情況下，首先要考慮廢氣中的污染因素、生產濃度和廢氣排放量，然后才考慮去除效率。在了解以上兩個方面的基礎上，需要考慮采用哪個流程。但濕度、溫度、污染因子(熔點、可燃性、粘度、鹵素、沸點、水溶性)和非有機污染因子(如顆粒)的特性有待進一步分析。同時，還應考慮處理過程的經濟性、穩定性和安全性。

　　三.活性炭吸附-解吸-催化燃燒組合工藝：活性炭吸附和催化燃燒可以單獨使用，也可以組合使用。這種組合主要是利用它們的互補性：活性炭吸附適用于大風量、低濃度的廢氣，催化燃燒適用于小風量、高濃度的廢氣，活性炭吸附的有機物可以在高溫下脫附。從另一個角度來看，這種組合工藝可以視為活性炭的現場回收工藝，不僅降低了吸附飽和后活性炭的更換成本，而且避免了由于吸附飽和而未能及時更換活性炭造成的過度排放風險。

　　四.活性炭吸附法：活性炭是一種表面積大、孔隙多、吸附能力強的活性炭。碳顆粒的比表面積一般為700-1200m2/g，孔徑為1.5納米-5微米。吸附的方式有兩種：一種是活性炭和氣體分子之間的范德華力。氣體分子在活性炭表面拖曳時，范德華力起主導作用，氣體分子首先吸附在活性外表面，小于活性炭孔徑的分子在內部分散并轉移到內表面實現吸附作用，這就是物理吸附;另一種是吸附質和吸附劑表面原子之間的化學形成，即化學吸附。活性炭吸附一般適用于風量大、濕度低、含塵量低、濃度低的有機廢氣。